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靶材

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镀膜靶材是经过磁控溅射、多弧离子镀或其他范例的镀膜体系在得当工艺条件下溅射在基板上构成种种功效薄膜的溅射源。复杂说的话,靶材便是高速荷能粒子轰击的目的质料,用于高能激光武...